Технология использования фотолитографии в глубоком ультрафиолете разрабатывалась десятки лет — но до последнего времени ее внедрение казалось слишком сложной задачей. Достижение Samsung приближает всю отрасль к 3-нм чипам и к прорывам в ИИ и робототехнике.
В корейском Хвасоне на фабрике Samsung S3 запущено производство новых чипов 7LPP. Они должны стать первыми микропроцессорами, произведенными с помощью технологии EUV — фотолитографии в глубоком ультрафиолете. В Samsung уверены, что высокотехнологичная продукция, которая проявится в продаже ближе к 2020 году, совершит революцию в IT-отрасли.
Сегодня производители микрочипов в основном работают с литографическим оборудованием ASML или Nikon с эксимерным лазером на флюориде аргона, который испускает глубокий ультрафиолетовый свет в диапазоне 193 нм. Чтобы повысить разрешение, применяют иммерсионную литографию, однако этот процесс происходит в несколько сложных циклов.
Внедрение фотолитографии в глубоком ультрафиолете упростит весь процесс.
Во-первых, EUV, которая использует плазму в качестве источника экстремального ультрафиолетового света с длиной волны 13,5 нм, дает возможность существенно уменьшить размеры транзисторов — на 40% по сравнению с нынешним 10-нм техпроцессом. Такой техпроцесс — стандарт индустрии, его используют при производстве Qualcomm Snapdragon 845 и Samsung Exynos 9810.
Во-вторых, повышается точность печати — на 70% по сравнению с современным иммерсионным сканером 193 нм.
«Коммерческое применение EUV-технологии — это революция для индустрии полупроводников, которая будет иметь огромное влияние на нашу с вами повседневную жизнь», — считает Питер Дженкинс, вице-президент нидерландской компании ASML, крупнейшего производителя фотолитографических систем для микроэлектронной промышленности.
В Samsung уверены, что чипы по технологии 7LPP EUV будут устанавливать в смартфонах, устройствах с ИИ, они помогут развитию 5G, интернета вещей, автомобильной промышленности и дата-центров.
Первый процессор для мобильных устройств, сделанный по технологии 7нм, ранее представила публике Huawei. В китайской корпорации уверены, что их Kirin 980, ускоренный с помощью ИИ, значительно быстрее конкурентов Qulacomm 845 и Apple A11.
Источник: hightech.plus
